激光三维扫描仪技术一般以数字化测量设备的输出数据为原始信息来源。而激光三维扫描仪测量方法的好坏直接影响到对被测实体描述的精确、完整程度，影响到数字化实体几何信息的速度，进而影响到重构的CAD 曲面、实体模型的质量，并影响到整个工程的进度和质量。

　　三维扫描仪的数据采集方法在九十年代初，英国Renishaw 公司研制出一种三维力一位移传感的扫描测量头，该测头可以在工件上滑动测量，连续获取表面的坐标信息，扫描速度可达8 米/秒，数字化速度最高可达500 点/秒，精度约为0.03mm。

　　干涉法是通过测量两束相干光的光程差来计算物体的高度分布，测量精度相当高，但测量范围小，抗干扰能力弱，不适合测量凹凸变化大的复杂曲面。激光衍射法的情况与干涉法基本相同。层析法是近年来发展的一种技术，将研究的零件原形填充后，采用逐层铣削和逐层光扫描相结合的方法获取零件原形不同位置截面的内外轮廓数据，并将其组合起来获得零件的三维数据。

　　基于相位偏移测量原理的莫尔条纹测量方法将光栅条纹投射到被测物体表面，光栅条纹受物体表面外形的调制，其条纹间的相位关系会发生变化，数字图像处理的方法解析出光栅条纹图像的相位变化量来获取被测物体表面的三维信息。间隔法是利用光线飞行的时间来计算间隔，常采用激光和脉冲光束。激光三维扫描仪比较典型的应用就是电子经纬仪交绘测量法。这种方法测速慢，工作量大，测量相当困难，但可以测很大的物体。